Аналитическая лаборатория
Аналитическое оборудование
НОЦ «Ионно-плазменные технологии» оснащен измерительным аналитическим оборудованием для проведения комплексных исследований параметров плазмы, механических, оптических и теплофизических характеристик поверхности твердых тел.
Система диагностик низкотемпературной плазмы на основе одиночного зонда Ленгмюра Hiden Analytical ESPIon
Предназначена для in situ определения концентрации, температуры и потенциала плазмы, а также функции распределения электронов по энергиям.
Технические характеристики:
Диапазон измеряемых плотностей плазмы: 1013 – 1019 м-3.
Измеряемая температура электронов: до 10 эВ.
Напряжение смещения: -200 … +100 В.
Скорость измерения: 15 циклов/с.
Диаметр зонда: 0,15 мм.
Диапазон перемещения зонда: 600 мм.
Монохроматор-спектрограф SOL Instruments MS7504i
Предназначен для спектральной диагностики низкотемпературной плазмы. Обладая высочайшим спектральным разрешением, прибор позволяет измерять температуру плазмы по уширению спектральных линий, анализировать парциальный и зарядовый состав плазмы, может работать в составе диагностического комплекса на основе лазерно-индуцированной флуоресценции.
Технические характеристики:
Фокусное расстояние: 750 мм.
Диапазон длин волн: 180 – 1200 нм.
Спектральное разрешение: 0,015 нм.
Лазерный сканирующий конфокальный микроскоп Carl Zeiss LSM700
Основное назначение – измерение топологии поверхности с оптическими увеличениями. Прибор оснащен всем необходимым оборудованием и программным обеспечением для проведения исследований в области материалографии, а также лазерным сканирующим конфокальным модулем, позволяющим строить трехмерные модели поверхностей.
Технические характеристики:
Диапазон увеличений: х50 – х1500.
Латеральное разрешение: 120 нм.
Вертикальное разрешение: 10 нм.
Максимальная масс образца: 9 кг.
Максимальная высота образца: 60 мм.
Методы контрастирования: черное поле, светлое поле, дифференциально-интерференционный контраст, поляризация, полный интерференционный контраст.
Спектрофотометр Agilent Cary 60
Основное назначение: измерение коэффициентов отражения и пропускания образцов в оптическом диапазоне. Прибор незаменим при разработке технологий нанесения энергосберегающих, просветляющих и отражающих покрытий.
Технические характеристики:
Диапазон длин волн: 190 – 1100 нм.
Спектральное разрешение: 1,5 нм.
Скорость сканирования: 24000 нм/мин.
Нанотвердомер, скретч-тестер Nanovea
Используется для диагностики механических свойств тонкопленочных покрытий в нанометровом диапазоне. Прибор позволяет измерять твердость и модуль Юнга покрытия, а также силы его адгезионного взаимодействия с поверхностью.
Технические характеристики:
Диапазон нагрузок наномодуля: 0 – 400 мН.
Разрешение нагружения: 1 мкН.
Диапазон измерения глубины: 0 – 100 мкм.
Вертикальное разрешение: 0,05 нм.
Разрешение силы трения: 4 мН.
Трибометр Nanovea
Предназначен для измерения коэффициента трения и исследования износостойкости покрытий в широком диапазоне температур.
Технические характеристики:
Максимальная нагрузка: 40 Н.
Разрешение силы трения: 0,4 мН.
Скорость вращения шпинделя: 0.01 – 2000 об/мин.
Максимальный радиус образца: 40 мм.
Диапазон температур образца: 0 – 900°С.
Микротвердомер Durascan 20
Используется для автоматизированного измерения твердости приповерхностного слоя образцов.
Технические характеристики:
Максимальная нагрузка: 98 Н.
Метод измерения: по Викерсу.
Максимальная высота образца: 260 мм.
Максимальная масса образца: 50 кг.
Тепловизор FLIR P620
|
Скоростная видеокамера Photron FASTCAM SA6
|
Предназначен для измерения распределения температур по поверхности образца и оценки степени черноты. |
Камера предназначена для высокоскоростной видеофиксации быстропротекающих процессов, таких как движение катодных пятен по поверхности катода и пылевых частиц в комплексной плазме. |
Технические характеристики:
Диапазон температур: -40 – + 1500°С.
Спектральный диапазон: 7,5 – 13 мкм.
Температурная чувствительность: 0,04°С.
Разрешение: 640 х 480.
Фокусное расстояние: 24 мм. |
Разрешение матрицы: 1920 х 1440.
Скорость съемки при полном кадре: 1100 к/с.
Максимальная скорость съемки: 75000 к/с.
Разрешение при макс. скорости: 250 х 32.
Объем оперативной памяти: 16 Гб.
Размер пикселя: 10 х 10 мкм. |
|
|
Аналитические весы Sartorius CPA225D
Весы позволяют взвешивать образцы с точностью до 0,01 мг, что дает возможность с высокой точностью определять коэффициенты распыления различных материалов.
Технические характеристики:
Высота камеры для образцов: 232 мм.
Максимальная масса образца: 220 г.
Дискретность измерений: 0,01 мг.
Диаметр чаши: 80 мм.
|
Фото: Евгений Воробьёв |